保持檢漏儀的穩定性和長(cháng)期正常運行是提高檢漏儀工作效率的基礎，首先它的預防性保養非常重要：眾所周知，檢漏儀內部的真空泵、閥門(mén)等活動(dòng)部件在工作時(shí)會(huì )有磨損，這些部件需要定期的保養維護。檢漏儀工作時(shí)還會(huì )吸入粉塵、可凝性氣體等污染物，特別是揮發(fā)性有機物。這些污染物會(huì )進(jìn)到檢漏儀內部并不斷累積，影響多個(gè)核心部件的正常工作。上醫治未病，對這些部件的預防性保養將最大程度的降低您的設備突然停機的風(fēng)險，并節省維修成本。
閥體
閥體內部結構精密，通道復雜。檢漏儀吸入的粉塵等污染物會(huì )堆積在閥體通道內，并產(chǎn)生諸如閥門(mén)密封不嚴/漏氣、本底漏率讀數較高或不穩定等故障。
離子源
附著(zhù)在離子源腔體內表面和燈絲上的污染物容易被電離產(chǎn)生黑色積碳，造成離子源壽命下降，檢漏儀靈敏度下降、漏率讀數不準確/不穩定、校準出現 “增益過(guò)高” 的報警等故障。
前級泵
前級泵在工作過(guò)程中吸入來(lái)自工件的污染物和空氣中的水汽。如疏于保養，將導致泵油變質(zhì)、乳化，泵腔內部磨損或生銹，前級泵運轉噪音變大、油封漏油，還會(huì )影響到極限真空從而影響檢漏精度，甚至因為前級泵的極限真空無(wú)法達到分子泵啟動(dòng)的壓力，檢漏儀啟動(dòng)后將一直處于“壓力等待”狀態(tài)。
渦輪分子泵
檢漏過(guò)程中吸入的污染物，如果在閥體內部積存過(guò)多，可能會(huì )被帶入分子泵內部。粉塵和揮發(fā)性有機物會(huì )造成軸承潤滑不良，壽命降低，并造成分子泵功率過(guò)高甚至檢漏儀報警停機。
